Titre

Analysis and Design Principles of MEMS Devices

Auteur
Langue

anglais

ISBN

9780444516169

Éditeur

Elsevier Science & Technology

Prix

111,55(Excl. toute livraison)

Frais de livraison

€ 2,95

Détails

2005 328pp Gebonden

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Flaptekst

Sensors and actuators are part of our everyday life and appear in many appliances, such as cars, vending machines and washing machines. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are micro systems consisting of micro mechanical sensors, actuators and micro electronic circuits. This book presents the analysis and design principles of MEMS devices.

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Bao, Minhang (Department of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, CHINA) - Analysis and Design Principles of MEMS Devices
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