Titre
Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors
Auteur
Langue
anglais
ISBN
9783030797515
Éditeur
Springer Nature Switzerland AG
Prix
€ 150,50(Excl. toute livraison)
Frais de livraison
€ 2,95
Détails
2022 312pp Paperback / softback
Plus d'informations
Flaptekst
This book begins by introducing new and unique fabrication, micromachining, and integration manufacturing methods for MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) devices, as well as novel nanomaterials for sensor fabrications.
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